Iradiace tenké vrstvy ionty. Vliv na růst tenké vrstvy. Metody růstu tenkých vrstev. Rozdělení metod podle principu depozice. Napařování tenkých vrstev. metoda MBE.
Literatura:
- P. M. Martin: Handbook of Deposition Technologies for Films and Coatings, Elsevier Oxford 2010.
Doplňující literatura:
- L. Eckertová: Fyzikální elektronika pevných látek, UK Praha 1992.
