Plazmové a chemické metody depozice tenkých vrstev. Magnetronové naprašování. Reaktivní naprašování. Anodizace. Plazmou asistované chemické depoziční metody. Chemické metody depozice.
Literatura:
- P. M. Martin: Handbook of Deposition Technologies for Films and Coatings, Elsevier Oxford 2010.
Doplňující literatura:
- L. Eckertová: Fyzikální elektronika pevných látek, UK Praha 1992.
- H. Bubert, H. Jenett: Surfaces and Thin Films Analysis: Principles, Instrumentation, Applications, Wiley‐VCH Verlag Weinheim 2002.
